佰驟智能股份有限公司

系統特性:

• 光源波長範圍: 450nm – 900nm
• 光點大小: 50um、25um
• 量測層數: 最多3層(依材料性質而異)
• 量測厚度範圍: 10nm – 50mm (依材料性質而異)
• 再現性: ± 1.5 Å on 10 times measurement / Thick film: ± 3%

(Standard sample: SiO2 100nm)

• 膜厚解析度 : 0.01 nm / Thick film : 0.01 um
• 結合4, 6 吋 設備前端模組 (EFEM)設計，包含4", 6" 晶圓傳送機器手臂、Casstte，對齊時間 < 3秒。
• X, Y, Z 自動載台尺寸: 180x180x60mm
• 可加裝單波長雷射激發光源
• 可升級自動對焦(z-axis motorized) 功能

應用:

²  半導體 Si, Ge, SiO₂, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs

²  顯示器 (incl. OLED) MgO, ITO, PR, Alq₃ , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS

²  介電材料 SiO₂, TiO₃, Ta₂O₅, ITO, AIN, ZrO₂, Si₃N₄, Ga₂O₃, Wet Oxides

²  聚合物 Dye, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR

²  化學品 Organic Film(OLED) & LB Thin Film

²  太陽能電池 SiN, a-Si, poly-Si, SiO₂