自动化共轭焦显微拉曼光谱仪
UniDRON-semi Automatic Control Confocal Micro Raman / PL Spectroscopy
特色：
*全自动控制设计
*最高支援5组雷射
*可容纳12寸晶圆全范围扫描
半导体应用领域：
材料/化学试剂组成分析
异物成分分析
晶圆与薄膜应力分析
缺陷分析
制程品管 (缺陷/浓度/组成比例/异物等等)
商品介绍
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