椭圆偏仪ME210

线上监测拉曼光谱系统

RamMaster In-line monitoring Raman Spectroscopy
特色：
*直射式雷射设计，有效提升量测灵敏度
*可选择多种激发光源
*可依需求配置不同解析度的侦测系统
*体积小，方便产线架设

线上膜厚检测系统 Elli-RSc-AMPE

光谱式反射仪为高速膜厚量测系统，1秒钟内完成单点量测(依材料性质而异)。最高可量测3层薄膜(依材料性质而异)，厚度范围10nm – 50mm(依材料性质而异)。配备显微镜系统，光点大小可调整，适用於半导体、OLED、高分子、太阳能…等相关研究及材料厚度检测。

自动化共轭焦显微拉曼光谱仪

UniDRON-semi Automatic Control Confocal Micro Raman / PL Spectroscopy

特色：
*全自动控制设计
*最高支援5组雷射
*可容纳12寸晶圆全范围扫描

碳化矽/晶圆应力检测机

应用:半导体产业