椭圆偏仪ME210

第一步

『制品概略』

 (基本机能)　薄膜的膜厚测量装置

 (特徵①)  　　光学非接触（一般椭偏仪的特徵）

 (特徵②)     几乎是0的极薄膜厚测量也能对应（一般椭偏仪的特徵）
 (特徵③)  　　高速测量整面的膜厚分布。（我们装置的特徵）

 
第二步

　

『常见问题和解答』

① 可测量什么？  ⇒　薄膜厚厚度。依条件折射率也能测。

  　※不可测量的膜：不透光金属膜(厚度大)、非平坦基板或薄膜上的膜。

② 多层膜是否能测?　   ⇒　基本単层、在特定条件下2~3层也能测。

③ 测量范围?             ⇒　1μm以下的薄膜。

④ 测量速度?  ⇒　毎分1,000个点左右。

   （例：8英寸晶圆整面可在3分钟内完成测量）