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线上膜厚检测系统 Elli-RSc-AMPE
光谱式反射仪为高速膜厚量测系统，1秒钟内完成单点量测(依材料性质而异)。最高可量测3层薄膜(依材料性质而异)，厚度范围10nm – 50mm(依材料性质而异)。配备显微镜系统，光点大小可调整，适用於半导体、OLED、高分子、太阳能…等相关研究及材料厚度检测。
商品介绍
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光谱式反射仪为高速膜厚量测系统，1秒钟内完成单点量测(依材料性质而异)。最高可量测3层薄膜(依材料性质而异)，厚度范围10nm – 50mm(依材料性质而异)。配备显微镜系统，光点大小可调整，适用於半导体、OLED、高分子、太阳能…等相关研究及材料厚度检测。