自動化共軛焦顯微拉曼光譜儀
UniDRON-semi Automatic Control Confocal Micro Raman / PL Spectroscopy
特色：
*全自動控制設計
*最高支援5組雷射
*可容納12吋晶圓全範圍掃描
半導體應用領域：
材料/化學試劑組成分析
異物成分分析
晶圓與薄膜應力分析
缺陷分析
製程品管 (缺陷/濃度/組成比例/異物等等)
商品介紹
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