橢圓偏儀ME210

線上監測拉曼光譜系統

RamMaster In-line monitoring Raman Spectroscopy
特色：
*直射式雷射設計，有效提升量測靈敏度
*可選擇多種激發光源
*可依需求配置不同解析度的偵測系統
*體積小，方便產線架設

線上膜厚檢測系統 Elli-RSc-AMPE

光譜式反射儀為高速膜厚量測系統，1秒鐘內完成單點量測(依材料性質而異)。最高可量測3層薄膜(依材料性質而異)，厚度範圍10nm – 50mm(依材料性質而異)。配備顯微鏡系統，光點大小可調整，適用於半導體、OLED、高分子、太陽能…等相關研究及材料厚度檢測。

自動化共軛焦顯微拉曼光譜儀

UniDRON-semi Automatic Control Confocal Micro Raman / PL Spectroscopy

特色：
*全自動控制設計
*最高支援5組雷射
*可容納12吋晶圓全範圍掃描

碳化矽/晶圓應力檢測機

應用:半導體產業