橢圓偏儀ME210

第一步

『製品概略』

 (基本機能)　薄膜的膜厚測量装置

 (特徵①)  　　光學非接觸（一般橢偏儀的特徵）

 (特徵②)     幾乎是0的極薄膜厚測量也能對應（一般橢偏儀的特徵）
 (特徵③)  　　高速測量整面的膜厚分布。（我們装置的特徵）

 
第二步

　

『常見問題和解答』

① 可測量什麼？  ⇒　薄膜厚厚度。依條件折射率也能測。

  　※不可測量的膜：不透光金属膜(厚度大)、非平坦基板或薄膜上的膜。

② 多層膜是否能測?　   ⇒　基本単層、在特定條件下2~3層也能測。

③ 測量範圍?             ⇒　1μm以下的薄膜。

④ 測量速度?  ⇒　毎分1,000個點左右。

   （例：8英吋晶圓整面可在3分鐘內完成測量）