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線上膜厚檢測系統 Elli-RSc-AMPE
光譜式反射儀為高速膜厚量測系統,1秒鐘內完成單點量測(依材料性質而異)。最高可量測3層薄膜(依材料性質而異),厚度範圍10nm – 50mm(依材料性質而異)。配備顯微鏡系統,光點大小可調整,適用於半導體、OLED、高分子、太陽能…等相關研究及材料厚度檢測。
商品介紹
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光譜式反射儀為高速膜厚量測系統,1秒鐘內完成單點量測(依材料性質而異)。最高可量測3層薄膜(依材料性質而異),厚度範圍10nm – 50mm(依材料性質而異)。配備顯微鏡系統,光點大小可調整,適用於半導體、OLED、高分子、太陽能…等相關研究及材料厚度檢測。